IC蚀刻与电力绝缘含氟气体
芯片加工的干法刻蚀气体。中高压电气中作为绝缘气体,起到灭弧保护作用，具有低“全球增温潜势”(GWP)，是常规绝缘气体SF6（一种强效温室气体）的优质替代材料，通常用于中压和高压输电和配电基础设施的绝缘与保护。在电网商用设备中，使用含氟特气混合气体替代SF6，具有99%的温室气体减排潜力，可大大降低对环境的影响。它具有不易燃性、高介电强度等特点，按照设计要求使用时，对工人有较大的安全范围。
特性
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低全球增温潜势(GWP)
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不易燃
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高介电强度
用途
中高压电气的绝缘保护
中高压电气的绝缘保护
电网绝缘与保护
电网绝缘与保护
芯片干法刻蚀
产品系列
电力绝缘气体
含氟蚀刻气体
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